新凯来半导体设备亮相SEMICON China 2025：中国半导体产业的新里程碑

在SEMICON China 2025展会上，深圳国资委背景的新凯来公司首次亮相便引起行业轰动，一次性发布了31款半导体装备，覆盖量检测、刻蚀、薄膜沉积等多个关键制造环节。这一重大突破标志着中国半导体设备在高端领域取得了实质性进展。

技术突破：填补国内多项空白

新凯来此次展示的产品线包括18款工艺装备和13款量检测装备，其中多项技术填补了国内空白：

• EPI”峨眉山”外延设备实现±1.5%膜厚均匀性
• 武夷山刻蚀设备突破10nm以下制程瓶颈
• 天门山光学量测系统缺陷检测达10nm级
• 赤壁山X射线设备元素分析精度提升三个数量级

公司工艺装备产品线总裁杜立军表示：”AI和智能驾驶等产业对算力的需求推动了半导体装备市场的增长，我们的技术演进方向包括更高能量控制精度、更快硬件响应速度和更大工艺窗口。”

产品线全面覆盖半导体制造关键环节

新凯来的产品线布局体现了系统性突破：

工艺装备

• 武夷山系列刻蚀设备（4款）
• 普陀山系列PVD设备（3款）
• 长白山系列CVD设备（2款）
• 阿里山系列ALD设备（3款）
• 峨眉山系列外延设备（3款）
• 三清山系列退火设备（3款）

量检测装备

• 光学检测（4款）
• 光学量测（2款）
• PX量测（4款）
• 功率检测（3款）

打破国际垄断的战略意义

新凯来的产品直接挑战国际巨头垄断领域：

• EPI设备长期被AMAT、TEL垄断
• ALD设备由ASM和TEL主导
• PVD领域AMAT占据85%市场份额

公司拥有80多项发明专利，覆盖光学、材料、工艺控制等关键环节。2024年研发的”静电卡盘及工艺设备”解决了行业痛点。

深圳半导体国家队的产业布局

新凯来作为深圳半导体”国家队”成员，其发展体现了深圳打造半导体产业集群的战略：

• 注册资本15亿元，由深圳市国资委通过重大产业投资集团全资控股
• 整合大湾区12家科研机构资源
• 形成”基础研究院+产业基金+制造基地”三位一体模式
• 与中芯国际等晶圆厂深度合作，加速半导体国产化替代

市场影响与产业价值

新凯来的崛起将重塑全球半导体产业格局：

• 产品报价较进口设备低40%，产能提升20%
• 预计2026年在薄膜沉积设备领域抢占15%国内市场
• 独创”设备-材料-工艺”协同开发模式
• 带动2000家上下游企业技术升级
• 推动中国半导体设备从替代进口转向定义标准

深圳正通过政策扶持和产业链整合打造半导体产业集群，新凯来的发展将助力深圳半导体产业链从”单点突破”到”系统突围”，有望重构全球半导体产业价值链格局。